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第四章薄膜的物理氣相沉積(Ⅱ)濺射法優質ppt課件
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濺射鍍膜的特點 (1)對于任何待鍍材料,只要能作成靶材,就可實 現濺射 (2)濺射所獲得的薄膜與基片結合較好 (3)濺射所獲得的薄膜純度高,致密性好 (4)濺射工藝可重復性好,可以在面積襯底上獲 得厚度均勻的薄膜上一頁:高二物理電場電場強度PPT課件 下一頁:記敘文標題含義和作用分析優質ppt課件
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